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串集多腔鍍膜設(shè)備

簡要描述：串集多腔鍍膜設(shè)備是一組真空腔系統(tǒng)，這些真空腔系統(tǒng)通過位于系統(tǒng)中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環(huán)境下連續(xù)進行。

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-07-10
  • 訪  問  量：660

詳細介紹

品牌其他品牌應用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池

串集多腔鍍膜設(shè)備是一組真空腔系統(tǒng)，這些真空腔系統(tǒng)通過位於系統(tǒng)中心的傳輸腔相互連接。從基材的清潔、鍍膜與封裝的所有過程都在不破壞真空的環(huán)境下連續(xù)進行。所有這些過程使外部環(huán)境的影響最小化，以防止在沉積的過程中基板表面氧化，並為元件製造提供了最大效率。

Syskey可根據(jù)客戶要求提供多腔體鍍膜系統(tǒng)。 我們的系統(tǒng)通常包含濺鍍、蝕刻、PECVD、熱蒸發(fā)、ALD、退火、電漿清洗和冷卻系統(tǒng)，這些系統(tǒng)可用於FPD、電子行業(yè)、太陽能電池和半導體行業(yè)。

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串集多腔鍍膜設(shè)備參數(shù)

應用領(lǐng)域腔體

  • 半導體行業(yè)。

  • 太陽能電池。

  • LED。

  • 有機發(fā)光二極體。

  • 有機光伏打電池。

  • 平板顯示器。

  • 客製化的腔體尺寸取決於基板尺寸和應用。

  • 帶有機械手臂的鋁製腔體，用於在腔體之間的傳送。



選件

  • 濺鍍。

  • PECVD。

  • 乾蝕刻。

  • ALD/ PEALD。

  • 電漿清洗。

  • 熱退火。

  • 電子束蒸發(fā)。

  • 熱蒸鍍




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